简介

制程片PL检测模组可应用于制绒、扩散、刻蚀、PECVD工艺后，对过程片进行缺陷检测。

可安装于刻蚀上料、PECVD下料、丝网上料处以及离线设备，结合客户端现有设备实现剔除。

采用了特殊定制相机和神经网络算法相结合，可快速、准确地检测出缺陷，检测速率大大提升。

采用非接触式的检测方式，大大降低了在生产电池片各个工艺过程中的碎片率，是分析工艺问题、提高成品率、降低成本必不可少的视觉检测设备。为产品质量提供了完全可靠的保障。

                         过程片

产品特性

产能大于4500片/小时

兼容多尺寸片源，更换尺寸无需更换硬件，降低人力及耗材成本

无接触式检测，不会对过程片造成二次损伤

提前筛选出问题片，节约制造成本                                                                            

自动统计各类缺陷、良品数量及比例

适用于制绒、蚀刻、扩散、PECVD等多种工序

技术指标

缺陷对比图